|
征文内容
1. 21世纪微米/纳米技术展望、创新的微米/纳米科学和技术基础；
2. 微机电系统、微光机电系统、纳机电系统 微型化网络；
3. 微型仪器（光谱仪、色谱仪、干涉仪等）；
4. 生化微系统（生物芯片、机敏芯片等）；
5. 微波（RF）器件、光通信器件；
6. 微纳传感器与执行器；
7. 微纳操作系统、微机器人；
8. 微米/纳米系统分析、仿真与CAD技术；
9. 微米/纳米加工与测量技术；
10. 微米/纳米材料、机敏材料和智能结构；
11. 微纳米机构学、微纳米摩擦学、微纳米光学、微纳米器件性能；
12. 微米/纳米技术应用；
13. 微米/纳米技术成果的转化和产业化；
14. 与微米/纳米相关学科与技术。
|
