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仪器设备
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仪器设备

精密与特种加工教育部重点实验室

大型仪器设备

序号

设备名称

放置地点

型号规格

价格

万元

国别、厂家

1.  

动静态综合加载测量平台

ZBD21EE110

94.9

汉中众邦电液伺服控制系统有限公司

用于对被测构件施加动静态载荷并测量其机械响应,可用于研究大型机械装备(如高铁列车、大型旋转机械、大型构件等)的动静态机械特性。

2.  

40兆数据采集系统

VibSoft-M2-40

45.1

德国Polytec公司

能够实现时域和频域信号记录,数字滤波,信号平均,时域和频域上的实时积分与微分,峰值保持,信号增强模式(抑制光学噪声)。

3.  

振动台

ES-10G

40

苏州东菱

用于产品的振动环境试验,环境应力筛选试验,可靠性试验,还可用于产品的疲劳试验,以进行产品的寿命考核。

4.  

疲劳试验机

SY70-5

86

苏州东菱

用于测定金属、合金材料及其构件(如操作关节、固接件、螺旋运动件等)在室温状态下的拉伸、压缩或拉压交变负荷的疲劳特性、疲劳寿命、预制裂纹及裂纹扩展试验。

5.  

精密驱动电源系统

BP4620

73

日本NF公司

具有自由编程、高度可重复性和操作效率化等特点,既可以作为四通道的双极性电源,又可以作为四通道的功放设备与多功能信号发生器组合使用,形成精密驱动电源系统,并配有信号发生系统和电流测试系统,可实现多通道输入和多通道输出以及检测反馈,精度高且性能稳定。

6.  

高性能单点式激光测振系统

OFV-505

39

德国Polytec公司

可实现远程控制,激光自动聚焦,允许OFV-5000嵌入一个小规模实验系统,同时也可以升级为扫描式激光测振系统,OFV-5000控制器和OFV-505光学头配套使用,可实现自动聚焦、远程聚焦和聚焦存取功能。

7.  

多尺度小应力金属沉积实验系统

EP100-A

15

深圳市昊光机电

应用科技有限公司

可用于高性能微小金属零件的制造技术研究,沉积精确且性能稳定,多种制造尺度下均可实现小应力金属沉积。

8.  

高低温交变湿热试验机

DF-GDWJS010

9.8

鞍山金工机械

制造有限公司

用于检验材料在高、低温(交变)循环变化的情况下的材质变化及强力的减衰程度

9.  

机械驱动与加载子系统(机械设计实验室)

自制

74.2

中国

可以实现齿轮、轴承等关键基础零部件的动力加载及静动态性能测试

10.      

超声振动加工中心

ULTRASONIC 70

367.7

德国 DMG

用于陶瓷、蓝宝石、玻璃、复合材料、功能晶体等硬脆难加工材料复杂型面、腔体、深小孔等的超声辅助磨削、铣削和钻削加工。

11.      

激光器

TruDisk 4006

260

德国Trumpf

可以实现零件表面清洗、改性、激光熔覆等多种工艺。

12.      

等离子体增强化学气相沉积

PlasmaPro 800Plus

147

英国牛津仪器

公司

可沉积SiO2SiNx金刚石薄膜等;设备开放进样,可沉积尺寸小于等于12英寸的样品;沉底温度最高可达400°C;用于微电子器件制备中的薄膜沉积。

13.      

高精度多元传感测量系统

SmartScope ZIP 250

51.74

美国光学量具产品公司(OGP)

可实现(接触、非接触)多元传感测量功能,测量精度和重复性高。可为精密零部件测量提供一个精确的测量环境,能够跟踪复杂零件的特征关系,并提供被测零部件完整的三维信息。

14.      

智能磁记忆涡流检测仪

EMS-2003

15

爱德森(厦门)电子有限公司

用于检测金属材料内部微缺陷及裂纹扩展情况。

15.      

Gabi生命周期评估分析软件系统

GaBi Software System

26.2762

德国PE-INTERNATIONAL

进行产品全生命周期中环境影响和资源能源消耗的分析评价

16.      

COMSOL Multiphysics计算平台

4.0a

12

瑞典comsol

可实现微尺度下的微流控、两相流、相变、流固耦合等模拟。

17.      

纳米压印光刻机

Eitre 6

192

瑞典Obducat AB

此设备可以进行热压印和紫外压印工艺。设备分辨率为20 纳米。最大压印面积为6英寸。对准精度为1微米。最高压印温度和压力分别为20070 bars

18.      

精密磨抛加工综合实验台

KDCCOS600

215

长沙新禾电子有限公司

可完成平面、球面、非球面和离轴非球面的光学元件的精密磨削和微纳抛光修形。

19.      

多分量测力系统

9253B23

82.5

瑞士Kistler公司

可用于高精度加工中切削力、转矩和切削功率的测量,测量精确且性能稳定。

20.      

高真空电子束热蒸发镀膜及工件退火炉

非标准订制

38

苏州硕光科技

有限公司

采用电阻热蒸发镀膜技术和电子束热蒸发镀膜技术,适用于在样品表面镀制各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。广泛应用于微机电系统、半导体行业及新材料领域。

21.      

超高速摄像机

FastCam

SA-5 M3

70

日本Photron公司

相机运用Photron领先的CMOS传感器技术,可以达到同类产品中超越的高感光度,是全世界百万像素下最快帧频的高速相机。主要用于精密加工中高速切削状态和能量转化过程监测。

22.      

高精密微型测力计

Kistler

69

瑞士奇石乐仪器股份公司

可用于高精度加工中微小切削力、转矩及切削功率的测量,继而开展切削机理、刀具磨损规律的研究。

23.      

三维激光数据化仪

VIVID9i

80

日本柯尼卡

美能达公司

最大测量距离2.5

24.      

轴承寿命强化试验机及测试系统

ABLT-XA

80

杭州轴承试验研究中心有限公司

适用于内径为60~120 mm的滚动轴承疲劳寿命强化试验。

25.      

化学机械抛光(CMP)实验台

EJW-610I-1AL

123

日本Engis公司

该化学机械抛光(CMP)实验台主要用于大尺寸工件的超精密加工工艺及加工理论,以及亚表面损伤检测和失效分析。研磨/抛光盘尺寸610mm;可加工工件的最大直径8~12英寸(200~300mm),最大厚度50mm;研磨/抛光盘转速范围0~400rpm;主机功率:2.2Kw3 200V)。

26.      

高速铣削加工中心

HSM500

239

瑞士MIRON公司

该加工中心具有良好的阻尼性能和稳定性,定位精确(重复定位均可达到4μ)、刚度高,加速度可达1.7g,用户界面设计友好操作方便,具有较高的隔音效果,配备了功能强大的除尘系统,能够实现主轴的高速旋转,最高转速可达54000rpm

27.      

平面正交光栅测量系统

KGM182/IK220/ACCOM Software

17.25

德国HEIDENHAIN

测量直径230mm,信号周期4μm,精度等级±2 μm,信号输出形式1 VPPIK 220脉冲计数卡4096倍细分。

28.      

立式四轴加工中心

MB66-VA

152

日本OKUMA公司

复杂三维曲面及4轴加工等

29.      

数控线切割加工机

NA2400

160

日本三菱电机

二维通透件、上下异形件、大锥

度零件、模具型腔型芯及凸凹模

 加工,级进模高精度步距加工等                                                                                               

30.      

数控电火花加工机

EA8AM

80

日本三菱电机

高精密复杂模具型腔、接插件等微细精加工,斜齿轮加工及镜面加工等

31.      

车铣复合加工机

MULTUS B400-W

238.6

日本OKUMA公司

一次装夹,完成车削、多轴铣削复杂三维曲面、钻孔、铰孔、 攻丝等多工序复合化加工等

32.      

Polytec激光测振仪

OFV-534/VDD

50

德国Polytec公司

位移输出最大速度810mm/s,频率0-2MHz,分辨率2pm;单点测量,带显微聚焦镜头,光斑直径3μm适用于微构件等(不限于微构件)的振动、位移的高精度测量。

33.      

三轴YAG激光成形系统

RP503F

182.96

镭胜(新加坡)

科技公司

适合金属/合金材料的直接零件成形。用于研究成形过程中的工艺参数及成形样品的性能特点。包括:成形样品的组织结构、应力应变、温度分布、剃度功能材料成形控制等。

34.      

原子力显微镜

XE-200/300

141.22

韩国Park System Corp

可测量样品直径2~12英寸50~300mm),XY运动台行程200x200mm,采用非接触测量模式,平板扫描器,闭环控制技术,具有多点测量功能,XY向最大扫描范围200μmZ向最大量程25μmZ向分辨率0.1 ÅXY向分辨率2Å辅助光学分辨率1μm

35.      

微挤出实验机

HPE-100H

71.5

美国戴维斯-标准公司

用于微小管材的挤出成型实验,具有螺旋Maddock混合段用于多种塑料的混合,可以用于微小塑料熔体的挤出流动分析、冷却定型分析及其模具设计等方面的研究。

36.      

引线键合机

7476D

21.8

美国威斯宝(West Bond)公司

微机控制,焊接参数可编程;45度锲键合,90度深腔锲键合为标准配制;线径范围:18-100微米;深腔:大于13毫米1英寸为选件;超声功率:4W;可调操作平台高度0.625英寸,尺寸12×12英寸;可储存多个器件的程序;液晶显示。

37.      

离子溅射仪

JFC-1600

13.8

日本电子株式会社

主要用于样品的表面喷金处理,可以增强样品表面的导电性,得到高清晰的图像。适于生命科学样品及非导体样品的制备。主要特性:阴极永磁体产生高效辉光放电;操作简单、速度快、效果好。

38.      

等离子体清洗机

K1050X

27.88

英国QUORUM 公司

聚合物的表面处理、去除光刻胶及电子元件中的包胶、有机材料微观灰化、SEM&TEM中有机样品刻蚀、SEM/TEM中的样品夹清洗和石棉试样制备等。

39.      

高倍率工具显微镜

MM-400/LU

25.7

日本Nikon

具有三维显微测量功能。平面测量精度在10mm×10mm范围内小于4μm100mm×100mm范围内小于8μm,深度方向测量精度小于10μm。示值分辨率在0.1μm

40.      

红外热成像显微镜仪

Infrascope 2

35.2

美国奥泰有限公司

主要用于检测微电子和MEMS产品温度分布,适用于SMA、功率模块、功率元器件等电子产品以及包含PCR和相变阀等部件的生化芯片实验室内部的微米尺度温度探测。最高温度探测灵敏度达到0.1,最高空间分辨率达到0.8um

41.      

红外热成像仪

Thermovision  A40M

33.1

美国FLIR systems

该仪器可用来对较大体积的高温构件成像,显示构件表面温度值,为研究高温构件温度场分布及温度梯度变化提供了可靠的测量工具。热灵敏度(NETD) < 0.08 (30);焦平面非制冷微量热型探测器(microbolometer) 320 X 240像素;波长范围7.5-13μm;测温范围-40-- +500℃;可通过滤片扩展到1500 2000,测温精度± 2% (读数范围) ± 2℃。

42.      

微细铣削试验台

自制

36.6

 

微细铣削实验台xyz轴用光栅尺定位,分辨率0.2μm,定位精度2μm。加工体积51mm×51mm×51mm。主要用来研究微细铣削的机理,研究影响加工表面质量的各种因素和加工参数及数控技术。

43.      

光谱型椭偏仪

M-2000 DI

80.73

美国

Woollam公司

可以一次测量多层薄膜的厚度和光学参数。波长范围:193nm1700nm,光斑直径:0.3-2-5mm;直射状态下测量准确度:对于全部测量波长,Y = 45 ± 0.15° D = 0 ± 0.15°,测量重复精度:ψ=45°δψ=0.07°Δ=0°δΔ=0.05°

44.      

磁控溅射台

LAB-18

173

美国Kurt J. Lesker公司

能够溅射各种金属和介质材料,也可以进行反应溅射。一次最大可以溅射16英寸样品,样品台可以旋转和加热,最高加热温度为800。溅射薄膜厚度均匀性优于±5%

45.      

超大景深三维几何形貌显微观测系统

VHX-600E

55

日本KEYENCE

公司

最大放大倍数5000,景深范围20倍,具备大景深3D形貌合成功能,1800万像素或相当像素,具备手动微调和自动微调(步长50nm)功能,具备3D形貌任意剖面廓形测定和2D剖面廓形深度测定功能。

46.      

电化学沉积/电镀/电铸综合实验系统

DBA 1-253/46-XXX+KWT-GD8

53

德国TRENKER公司

 深圳市科伟达科技有限公司

开展多层复合金属材料制备的研究、精密电镀砂轮制造技术研究、精密电化学沉积/电镀机理与技术的研究等。含超声波除脂清洗、镀液循环过滤、镀液pH值检测与调节、镀液成分浓度检测与添加、镀液电加热温控、干燥环节、后续清洗等基本使用功能。

47.      

精密微细加工综合实验台

自制

145

 

具有微细电火花、微细电化学、微细超声波、微细铣钻、精密钻磨孔和磨削功能;具有XYZ行程为300mm200mm300mm,分辨率为0.1微米、重复定位误差为1微米/100mm;微细工具在线制备功能;纳秒电源用于微细电化学加工;球面(曲面)超精密磨削/抛光加工等。

48.      

双头高压高速毛细管流变仪

StressTech

49.4

英国Bohlin公司

测试包括热塑性及热固性塑料,弹性体,流体及固体的流变性能。可以测量试样的剪切粘度n、法向力N1、剪切模量G(t)、复合粘度、储能模量G、损耗模量G”、损耗、分子量及其分布等。

49.      

平面度仪

FlatMaster200

146.15

美国

CorningTropel公司

可以非接触测量各种材料零件反射表面的平面度、波纹度、直线度,如硅晶片、玻璃基板、反射镜、金属、抛光复合材料零件等。可测量基片的薄膜应力。

50.      

圆柱度测量仪

Talyrond365-500

82.36

英国泰勒公司

测量最大工件直径400 mm;最大测量直径350 mm;最大测量高度500 mm;最大工件重量75Kg;最大偏心1250Kg最大偏心量;保证主轴精度。

51.      

多侧头三维形貌仪

Talysurf CLI2000

89.64

英国泰勒公司

XYZ测量范围200×200×200 mmXY轴分辨率0.5μm;承载20 Kg;测量速度30,15,10,5,1,0.5 mm/sceXY轴直线度±0.4μm/100mmXY轴平面度±0.75μm

52.      

三座标测量机

PRISMO7S-ACC(VAST GOLD)

224.67

蔡司远东有限公司

测量范围X900mmY1200mmZ650mm

53.      

刻蚀机

AMS100SE

330.755

法国Alcatel公司

具有良好的人机界面,软件功能强大;具有超高刻蚀率和极好的均匀性;可精确地控制深宽比的效果;可实现高深宽比干法刻蚀。主要用于硅片和SOI片的干法深刻蚀。

54.      

光刻机

MA6

227

德国SUSS公司

适于光刻6英寸的晶片;光刻最高分辨率0.2微米;双面光刻;对准精度1微米。

55.      

匀胶机

Suss Delta 80 T

34.9

德国SUSS公司

在光刻工艺中,适合于单面开盖或闭盖涂附光刻胶。

56.      

多功能激光加工机

KJG-4

26.74

上海安侬科技

实业有限公司

1)精密切割,切割PCD/PCBN复合片(最大厚度3.2 mm,最窄缝细0.1 mm)。(2)焊接,可实现无焊料、气密性焊接。

57.      

桌面式化学机械抛光(CMP)试验台

CP-4

128.675

美国

CENTER FOR TRIBOLOGY

公司

试验台采用抛光头和抛光盘单独控制方式,抛光头和抛光盘主轴均采用高精度轴承支撑,上卡盘具有自调整和对中的功能。可实时检测摩擦力/扭矩、法向载荷、抛光盘的多区域温度等参数。

58.      

研究级体视显微镜

SZX12

13.9502

日本

OLYMPUS公司

采用平行光轴变倍系统,配有超宽视野10倍目镜和20倍物镜,变倍体中包括一个内置的孔径可变光阑,在高倍率下具有良好的观察效果,分辨率达到800线/mm,可提供12.86倍的变焦比,总放大倍率是0.7X – 225X该仪器可作为各类表面微观分析仪器。

59.      

科研检测显微镜

MX40

11.0474

日本

OLYMPUS公司

采用无限远校正光学系统(UIS),配有超宽视野目镜和万能半复消色差物镜,最大放大倍率可达1000X。可采用明场、暗场、偏光、微分干涉等方式进行观察。该仪器可作为各类精密加工表面微观分析仪器。

60.      

激光加工系统

JK702H

150

微孔加工、切割、焊接

用于超精密加工技术研究

61.      

激光三维扫描仪

ViScan 110

14

北京荣创兴业科技发展有限公司

用于云状数据获取和表面质量检测,是反求工程、先进制造与质量检测的必备设备。测量精度为正负0.1毫米,可由计算机给出光刀型扫描数据,并配备了建模软件。

62.      

精密微型注塑机

BOY12

34.2

德国BOY

BOY12A型注射机可生产一次最大注射量小于9的微型塑料件。

63.      

齿轮磨床

Y7125B

35

秦川机床厂

经改装可磨削高精密齿轮

64.      

3D表面轮廓仪

NV5000 5022S

118

美国Zygo公司

能描述加工表面的三维几何形貌,分辨率为0.2nm;可进行表面的微观几何形状误差分析;可由计算机连续操作,并打印出测量结果

65.      

硅片精密磨床

VG401MK2

236.43

日本Okamoto公司

立式单轴超精密自动磨床,适用于硅片的超精密加工技术研究和小批量生产, 可磨削加工直径4~16英寸100~400mm)、厚度为1.5mm的单晶硅片,采用在线厚度测量仪控制向下进给磨削,具有自动和手动两种操作方式,空气轴承单主轴结构,主轴最大转速3000rpm,主轴快速进给150mm/min,主轴进给速度范围1~999μm/min,加工精度0.1μm

66.      

激光荧光显微镜

1×71

22.3

日本OLYMPUS

微流体的特性测试

67.      

扫描电镜

JSM-6360LV

75

日本电子

微结构观测

68.      

氧化扩散炉4

BGJ-3

13

信息产业部13

 

69.      

双面光刻机4

ICP-2B

35

信息产业部13

光刻

70.      

真空注型设备

CTV2

18.54

深圳浩泰工程

公司

快速原型制模,用于硅胶模具的浇注和加热成形

71.      

半导体特性参数测试仪

4200SCS

23

美国KEITHLEY公司

微电子器件的特性测试

72.      

表面台阶测试仪

ET4000M

28

日本KOSAKA公司

测硅片表面台阶、沟槽尺寸形状

73.      

样品测试探针台

6150

26.8

美国M&M公司

4针、有微动台、显微镜

74.      

金丝球焊机

INC

11

Mei Marpet Enterprises

焊接芯片引线

75.      

划片机

ZSH306D/T/S/B/ON

16

沈阳仪表所

硅片、芯片切割

76.      

超声波加工机床

YL-1500W

XKN7125

19.64

南京第二机床厂

陕西大通工程实业公司

陶瓷、玻璃成型加工

77.      

振动噪声分析系统

B&K3560

40.65

丹麦B&K公司

这是一套由丹麦B&K公司生产的便携式多通道动态信号分析系统,其中包括:硬件、软件、传感器等。对现场生产设备通过振动和噪声的测量,实现状态监测和分析。

78.      

微机控制电子万能试验机

CMT4204

12

深圳新三思计量技术有限公司

是对高分子材料进行力学性能测试的高精度、多用途的材料试验机。采用不同的夹具,能完成高分子材料在拉伸、压缩、弯曲、剪切、剥离、撕裂等状态下的力学性能试验。采用微机控制,实时动态显示负荷值、位移值、变形值、试验速度和试验曲线。

79.      

扫描隧道显微镜

STM

12

中科院化学所

测量微观表面形貌

80.      

龙门式加工中心

MCV-AII

1650×2000×1380

354

日本OKUMA

公司

3轴连动,适合于大型工件的二维平面和三维曲面的加工

81.      

NC五轴联动加工中心

DWU70V

188

德国德马吉公司

可用于钻、扩、铰、镗、铣等加工。采用光栅尺形成闭环反馈控制,备有RSC232RS422接口,可进行数据传输,还具有故障诊断功能及计算机的仿形功能

82.      

NC电火花线切割加工机床

AP200

150

日本沙迪克公司

能够进行细小的、精密零件和模具加工,其加工精度及表面粗糙度指标在行业界一直处于领先地位

83.      

NC电火花线切割加工机床

A530D

96.5

日本沙迪克公司

精密冲模、机械零件部件通透加工

84.      

NC电火花成型加工机床

A35R+MARK21+粉末加工装置

110

日本沙迪克公司

A35R精密电火花成型机床是高速高精度大面积镜面成型机,采用特殊粉末添加液,能够实现大面积的高表面质量的电火花成型机床,精加工时间缩短到传统加工时间的1/10

85.      

NC电火花成型加工机床

A50R/MAK21

114

日本沙迪克公司

A50R精密电火花成型机床采用滑枕式导轨、升降式工作液箱,主轴头具有精密分度和高速回转的功能。适于微孔加工和复杂的电火花创成加工

86.      

电火花小孔加工机床

KIC

25

日本沙迪克公司

快速加工0.3~3mm小孔,可用于精密加工

87.      

两功能激光快速成型系统

MRPM-II

65

北京殷华激光公司

本系统可以实现分层实体制造工艺(SSM)和熔融堆积成型工艺(MEM),由于是开放式平台,用户可根据需要进行新成型工艺的研究

88.      

NC立式加工中心

ARROW750

950×520×520

106.6

美国CINCINNATI

公司

3轴连动,可以进行二维平面和三维曲面的加工

89.      

快速付氏分析仪

CF250

83.2

日本小野公社

可对旋转机械振动、滚动轴承、齿轮等进行精密诊断,可在现场对大型旋转机械作就地平衡作业

90.      

红外测温仪

HSM672

34

美国WAHL公司

非接触测量温度,测温范围为300~1600,精度为±5

91.      

坐标镗床

T4163

15.7

昆明机床厂

具有位置精度要求的高尺寸精度孔系的加工

92.      

激光测量系统

5528A

131

美国HP

测量数控类机床的位移精度

93.      

真空热处理炉

ZCT-65

18.5

北京首都机械厂

最高温度1200,零件表面无氧化

94.      

高精度工具磨床

RS-12

38

瑞士EWAG公司

磨削高精度工具,它具有磨削过程的可视性

 

 
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